BARONSYSTEM

원격제어솔루션

당사의 원격제어시스템 SHF-Series는
반도체 생산라인 설비에 최적화된 안정적이고
정확한 원격제어솔루션을 제공합니다.
Linux, OS/2, UNIX 등 장비별로 다른 다양한 OS와 호환되며,
ONE-IP 특허기술로 추가적인 네트워크 증설이나 IP할당 없이
간편하게 설치할 수 있습니다.

원격제어가 어렵던 특정 장비들에 대해서도
전용컨트롤러를 개발하여 공급하고 있습니다.

바론시스템,
RCS전문기업의 최적화된 솔루션을 경험하실 수 있습니다.

판매실적 적용사례 (200mm공정) 적용사례 (300mm공정) 성과분석

판매실적

Manufacture	Processing	Maker	Model
MEMORY	Metal	APPLIED MATERIALS	ENDURA
	Metal	TEL	UNITY EP
	Etching	TEL	TEL_SCCM, TEL_DRM, TEL_MS, TEL_TE
	CVD	APPLIED MATERIALS	P-5000(2,3), CENTURA, ULITMA_X, ULTIMA_TE
	CVD	TEL	Clean Track_ACT(8)
	Diffusion	APPLIED MATERIALS	CENTURA 5200
		TEL	INDY, INDY PLUS, FORMULA, ALPHA 8SE, ALPHA 303i, NT333
		KE (KOKUSAI ELECTRIC)	CX3000-J1, CX3000-J2
		MATTSON TECHNOLOGY	STEAE AST 2800, AST 2900, AST 3000
		ASM	EPSILON 2000, EPSILON 2000 PLUS

Check SLSI

Manufacture	Processing	Maker	Model
SLSI	Metal	APPLIED MATERIALS	ENDURA
	Metal	TEL	UNITY EP
	Etching	LAM RESEARCH	A9408
	Etching	TEL	TEL_SCCM, TEL_DRM, TEL_MS, TEL_TE
	CVD	APPLIED MATERIALS	P-5000(2,3), CENTURA, ULITMA_X, ULTIMA_TE
	CVD	TEL	Clean Track_ACT(8)
	Diffusion	APPLIED MATERIALS	CENTURA 5200
		TEL	INDY, INDY PLUS, FORMULA, ALPHA 8SE, ALPHA 303i, NT333
		KE (KOKUSAI ELECTRIC)	CX3000-J1, CX3000-J2
		MATTSON TECHNOLOGY	STEAE AST 2800, AST 2900, AST 3000
		ASM	EPSILON 2000, EPSILON 2000 PLUS

Check MEMORY

Manufacture	Processing	Maker	Model
MEMORY	Clean/Photo	TEL	CELLESTA-I, NS300+ (300)
	Etching	TEL	Clean Track_ACT(12)
	Diffusion	TEL	INDY, INDY PLUS, FORMULA, ALPHA 8SE, ALPHA 303i, NT333, TRIASE GENUINE
	Diffusion	TEL	CX3000-J3, CX-5000

Manufacture	Processing	Maker	Model
SLSI	Clean/Photo	TEL	CELLESTA-I, NS300+ (300)
	Etching	TEL	Clean Track_ACT(12)
	Diffusion	TEL	INDY, INDY PLUS, FORMULA, ALPHA 8SE, ALPHA 303i, NT333, TRIASE GENUINE
	Diffusion	TEL	CX3000-J3, CX-5000

재무성과	Engineer 공수 분석
설비 Down 조치 시간 개선 ( xx Line ) ※ xx Line Diffusion 공정 평균 Error 건 : 271 ( 2015년 기준 ) ※ 日 Interlock 발생에 대한 평균 조치시간의 변화 설비투자 채무성과 : 52.0억원 조치 시간 일 평균 14min 단축 개선 271건 × 14min = 3794min Daily 2.6대분 가동 개선 효과 발생	Before (RCS) After (RCS) ※ FAB 내부에서 Engineer 의 이동 거리 단축 ※ 1인당 3.5KM Save 6.3 Km/Daily2.8 Km/Daily Engineer Daily 54min/人 절감 효과 발생 100名 기준 × 54min = 5400min 하루 11.25명 인력 감축 효과 발생

재무성과

Engineer 공수 분석